證券日報網(wǎng)訊 1月23日，中微公司在互動平臺回答投資者提問時表示，公司緊跟技術發(fā)展趨勢和客戶需求，堅持自主創(chuàng)新，致力于產(chǎn)品的差異化，持續(xù)強化刻蝕設備的技術領先優(yōu)勢。公司在過去的20多年著力開發(fā)了一個完整系列的20種等離子體刻蝕設備，并積累了大量的芯片生產(chǎn)線量產(chǎn)數(shù)據(jù)和客戶驗證數(shù)據(jù)。公司CCP和ICP刻蝕機的單雙反應臺并舉策略的優(yōu)勢凸顯，對各個技術節(jié)點的工藝應用形成有效的覆蓋。同時，公司大力投入先進芯片制造技術中關鍵刻蝕設備的研發(fā)和驗證，目前針對邏輯和存儲芯片制造中最關鍵刻蝕工藝的設備在客戶的產(chǎn)線驗證進展順利，CCP和ICP設備中的部分先進機型成為先進器件生產(chǎn)中關鍵工藝的主力機型。公司始終以最先進器件制造的需求為指引，不斷加大投入，著力研發(fā)先進器件生產(chǎn)亟需的高端設備。

（文章來源：證券日報）